机译:长宽比对薄膜体声波谐振器模式耦合的影响
机译:模耦合对部分电极薄膜体声波谐振器振动特性的影响
机译:基于薄膜体声波谐振器(FBAR)的局部质量检测:面积和质量位置方面
机译:基于薄膜散装声波谐振器的局部质量检测灵敏度考虑
机译:基于MEMS的系统,用于使用薄膜体声波谐振器和IR / UV光学判别进行粒子暴露评估。
机译:由硅纳米带场效应晶体管和体声波谐振器组成的双模式气体传感器:以氟利昂为例
机译:薄膜体声波谐振器(FBAR)的制造,与CMOS技术的异构集成以及传感器应用/
机译:声学散体和表面波谐振器加速度灵敏度的分析研究